DVIA主动隔振光学平台

DVIA-MB，专门为SEM和TEM显微镜设计主动隔振平台

 DVIA主动隔振光学平台特点：

 具有非常的隔振性能，特别是在低频0.5Hz- 10Hz达到90%以上的隔振效率

 采用惯性传感器，可以检测出六个自由度的振动并做补偿

 采用真蜂窝三层夹心式结构台面，厚度可选100/200/300mm

 进口精密主动隔振光学平台

 隔振性能优异,广泛应用于扫描探针显微镜,原子力显微镜，扫面隧道显微镜，激光干涉仪 ,半导体检测设备，三维形貌分析仪和激光共聚焦显微镜等。

 技术指标:

 固有频率：0.5-100Hz

 自动平衡，响应时间短，平衡速度快

 钢蜂巢内核：钢制蜂窝芯，钢板厚度0.25mm,每个蜂巢面积3.2cm²

 表面平整度：±0.1mm /600 mm²

 台面：4.0mm厚度430 系列高导磁镍合不锈钢

 底面：4.0mm厚碳钢，表面氧化处理

 边墙板：2.0mm厚碳钢，包裹高阻尼聚乙烯材料

 孔径： M6 (英制螺孔可选)

 孔距：25mmX25mm(英制孔距可选)，zui外边孔距平台边缘37.5mm

 螺孔密封：每个螺纹孔下方设有柱形隔离杯密封，方便清洁

 阻尼隔振方式：宽带阻尼