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“55mm 系列"— Linear55-x-Slim (闭环控制)
低温 · 压电运动- 线性位移系列
纳米级压电位移台Linear55-x-Slim主要特征
• 紧凑设计, 尺⼨ : 55*55*10.5 mm
• 超⾼真空 & 超低温兼容: 2 E- 11 mbar & 30 mK
• ⽆磁材料(纯 Ti & BeCu),最⾼兼容 18 Tesla 磁场
• 超⾼负载 & 超⾼推⼒ : 2500 g & 3 N
• ⼤⾏程 : 30 mm
• 闭环控制,内置位置传感器, 最⼩位置分辨率 0.1 um
纳米级压电位移台Linear55-x-Slim⼆维尺⼨
Linear55-x-Slim, SpeciÞcation
可选版本 ⇨ | .HV (默认) | .ULT | .UHV | .ULT.UHV | |
.HV ⾼真空版本,默认产品; .ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机 .UHV 超⾼真空版本, 最⾼兼容 2E-11 mbar | |||||
1 三维尺⼨ | 55.× 55 mm × 10.5 mm | ||||
2 质量 | 130 g | ||||
适⽤环境范围 | |||||
3 基础 | 温度范围: 1.4 ~ 400 K 最di真空度: 2e-7 mbar 最⼤磁场: 18 Tesla | ||||
4 可选1 - 30 mK | ✓ | ✓ | |||
5 可选2 - 2e-11 mbar | ✓ | ✓ | |||
材质 | |||||
6 主体 | Pure Ti | BeCu | Pure Ti | BeCu | |
7 线缆 | 磷⻘铜双绞线,20cm | ||||
8 针脚材质 | 聚酯材料(玻璃纤维填充), BeCu | Peek, BeCu | |||
9 针脚数量 | 驱动 -2 pins,传感 - 3 pins | ||||
运动参数 | |||||
10 ⾏程 | 30 mm | ||||
11 最⼤运动速度 @300 K | ~ 2 mm/s | ||||
12 驱动电压 | Max. 200 V | ||||
13 最⼤负载 | 2500 g | ||||
14 最⼤推⼒ | 3 N | ||||
传感器(闭环) | |||||
15 位置传感器 | 电阻传感 | ||||
16 传感器⾏程 | 30 mm | ||||
17 传感器分辨率 | ~ 150 nm | ||||
18 重复定位精度 | 1 - 2 um |